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爪式真空泵


爪式泵是为半导体工业开展而研发的,它有如下一些特色:

1)泵腔内无光滑剂,因而无返油现象发作;

2)抽气原件为非触摸式的可完成高速工作(3000r/min);

3)与被抽气体触摸的外表防腐蚀耐磨损;

4)在泵腔内气流垂直运动,少数的颗粒物和液体等在重力效果下易于扫除;

5)该泵型式多样,功用能够扩展,泵的主体,带有齿轮、马达以及气体净化设备,附件有进口处防反流的阀门,出口处有截流阀,

电气监控及报警装置;

6)齿轮和泵轴的下轴承用PFPE油光滑,上端盖内的轴承用PFPE油脂光滑;

7)第二、三、四级均有净化气体进口,以改进被抽介质顺畅经过泵腔,无此需求的能够不必通净化气体,净化气体用三个流量计分

别调理,彼此都是独立的,以保证节省惰性气体,使用三个电磁阀可微调其流量;

8)进口防返流阀能将被抽容器与泵腔间隔,出口处截流阀能将泵的出口封闭起来,将泵通以净化气体,这些阀可主动开关,真空系

统有牢靠的维护,杜绝了向真空室的返流;

9)电气监控与操作,主要有电源,远距离操作和开关阀等的操控。

当泵呈现毛病时泵能主动泊车,两个阀门一齐封闭或截流阀封闭。动力和遥控有一台变压器和整流器,以供给所需的电流电压,以

满意监控进程的需求。动力电源、继电器用以对马达的接通与断开及马达超负荷的维护。操作进程有显示器,有按钮操控,可操控

马达、防返流阀的操控阀和截流阀的操控阀,第二、三、四级的净化气体的通断阀,惰性气体的主阀,净化气体向轴封处通气用的

阀门等。毛病的监控报警或泊车,系统安全主动操控,也可按钮操控。启动时,翻开净化气体,泵正常运转3min,净化气体向各段

涌入,通净化气体对泵功能有些影响。每逢遇到紧急情况可按主动泊车键,净化气体持续接通,封闭进口防返流阀,各级泵净化

1min,净化结束,马达再泊车,封闭惰性气体截止阀。


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