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什么是分子真空泵




分子真空泵(简称分子泵)是1913年是德国人盖得(W.Gaede)首要创造的。他又以气体的外冲突作用为分子泵奠定了理论基础。

尽管分子泵是一种机械泵,但它现已摆脱了那种靠容积改变来抽气的容积泵原理,而是靠高速运动的刚体外表来带着气体分子完成抽

气的一种新型机械真空泵。一般把高速刚体外表带着气体分子按必定方向运动的现象成为分子牵引,或称为气体的外冲突输运现象

。因而,人们把盖得创造的分子泵称为牵引分子泵。这种泵具有发动时间短,抽重气体比抽轻气体快等一系列优点。但因为它的密

封空隙小,简略引起机械故障以及加工精度要求高级,除特殊需要外,实际上很少应用,曾有些人做过不少改善,出现过几种不同

类型的牵引分子泵,但因为抽速低没有推广应用,曾一度被结构简略的分散泵所替代。

德国人贝克(W.Becker)1956年创造了一种适于超高真空下作业的涡轮分子泵。这种泵和牵引分子泵相比,在结构和原理方面并不

完全相同。涡轮分子泵是以高速旋动的动叶片和停止的定叶片相互配合来完成抽气的。这种泵的极限压力可以到达10-9帕以下,对

油蒸汽等高分子量气体的压缩比很高,简直能到达测不出的程度。因而残余气体中油蒸汽的分压力很低。因为轴承用的润滑油仅在

泵的出口侧存在,故泵在运转过程中进口处查看不出油的痕迹。因而,涡轮分子泵可以获得清洁无油的超高真空。这种泵如果长时间

不必,轴承处的油蒸汽会分散到泵的进口侧,降低泵所能到达的清洁程度。为了消除油蒸汽的污染,在作业时,须对泵的进口进行

烘烤除气,烘烤温度要严格控制,过高会使叶片变形。有的在停泵时,用压力为13hPa的干燥气体充入泵内,以消除油蒸汽返流形成

的污染。

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